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一种基于MEMS扫描微镜的高分辨率微型红外光谱仪
申请号：CN201110279802.7
申请日：20110920
申请人：重庆大学
浏览量：0
摘要：
本发明公布一种基于MEMS（微电子机械系统）扫描微镜的微型化红外光谱仪，它是由光纤连接装置，入射狭缝，准直反射镜，扫描微镜，闪耀光栅，球面聚焦反射镜，出射狭缝，高灵敏度单元红外探测器组成。它采用一种新的光路结构：外部待测...
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