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一种类金刚石厚膜及其制备方法及一种工件
申请号：CN201510099972.5
申请日：20150306
申请人：重庆大学
浏览量：0
摘要：
本发明提供了一种类金刚石厚膜，包括：结合层；复合于结合层的过渡层；复合于过渡层的类金刚石膜层；所述类金刚石膜层由sp3键含量不同的类金刚石子膜叠加而成。本发明通过将sp3键含量不同的类金刚石子膜叠加，得到类金刚石膜层，其...
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