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  • 发明人=张中卫x
排序:
一种MEMS扫描微镜光谱仪工作电路

申请号:CN201210079028.X

申请日:20120323

申请人:重庆大学

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摘要:本发明公布一种MEMS(微电子机械系统)扫描微镜光谱仪工作电路。它主要由振荡信号模块,MEMS微镜驱动控制模块,光谱数据采集模块三个模块组成,其中,光谱数据采集模块由前置放大电路、AD转换电路、FIFO存储器、FPGA(...
一种基于MEMS扫描微镜的高分辨率微型红外光谱仪

申请号:CN201110279802.7

申请日:20110920

申请人:重庆大学

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摘要:本发明公布一种基于MEMS(微电子机械系统)扫描微镜的微型化红外光谱仪,它是由光纤连接装置,入射狭缝,准直反射镜,扫描微镜,闪耀光栅,球面聚焦反射镜,出射狭缝,高灵敏度单元红外探测器组成。它采用一种新的光路结构:外部待测...
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