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- 一种压电非均匀折叠梁驱动的MOEMS扫描光栅微镜
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申请号：CN201810616840.9
申请日：20180615
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：一种压电非均匀折叠梁驱动的MOEMS扫描光栅微镜,由光栅、微镜、扭转梁、压电非均匀折叠梁微驱动器、角传感器和固定框架组成。微镜通过扭转梁悬置于固定框架上使其绕扭转梁转动而限制其他方向的平动,并结合在微镜背部掏蚀凹槽,提高...
- 集成差分式角传感器的扫描微镜
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申请号：CN201810403477.2
申请日：20180428
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明公开了一种集成差分式角传感器的电磁驱动式扫描微镜,包括集成了电磁驱动器与角传感器的芯片和紧贴在其上面的硅基MEMS反射镜面。所述芯片由中心镜板、扭转梁和支撑框架构成。为了克服传统硅基MEMS扫描微镜镜面尺寸小和低频...