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硅微机械短接式微带天线
申请号：CN02222840.3
申请日：20020604
申请人：重庆大学
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摘要：
硅微机械短接式微带天线，它的结构是：在单晶硅片的一侧生成有二氧化硅绝缘层，在二氧化硅绝缘层之上沉积并刻蚀有微带金属贴片；单晶硅片的另一侧粘接在接地板上，在它们之间有腐蚀出的一定厚度的空腔；在紧邻微带金属贴片的一端的单晶硅...
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