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一种微机械加速度开关
申请号：CN201110188259.X
申请日：20110706
申请人：重庆大学
浏览量：0
摘要：
本发明提供了一种微机械加速度开关，涉及微机电系统领域，所述微机械加速度开关包括：绝缘衬底、信号传输线、质量块、折叠梁、触点、锚区和过载保护结构。信号传输线固定在绝缘衬底上，位于质量块上方；锚区固定在绝缘衬底上，位于质量块...
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