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宽带硅微机械双频微带天线
申请号：CN200320115360.3
申请日：20031209
申请人：重庆大学
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摘要：
宽带硅微机械双频微带天线，具有单晶硅片、接地板、微带金属贴片、馈电探针和接头，其结构特点是在单晶硅片的一侧生成有二氧化硅绝缘层，在二氧化硅绝缘层之上沉积并刻蚀有微带金属贴片，将贴片的一边短接，在与短接边垂直的另一边的合适...
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