具有主动抑制声能损失功能的薄膜体声波传感器及方法

专利类型：发明专利 

语 言：中文 

申 请 号：CN200910103042.7 

申 请 日：20090109 

发 明 人：贺学锋温志渝 

申 请 人：重庆大学 

申请人地址：400033重庆市沙坪坝区沙正街174号 

公 开 日：20090708 

公 开 号：CN101477083 

代 理 人：康海燕 

代理机构：重庆华科专利事务所 

摘　　要：本发明提出利用主动控制技术提高薄膜体声波传感器灵敏度的方法，以及实现该方法的一种薄膜体声波传感器结构，其是在常规薄膜体声波谐振器或传感器的敏感压电层下面与衬底之间增加一层主动控制压电层及相应的金属电极，在进行检测时，需要在对敏感压电层施加电信号的同时，对主动控制压电层施加一个电信号，以补充部分损失的声能和提高体声波传感器的品质因子，达到提高体声波传感器灵敏度的目的。本传感器具有结构简单，可以采用常规薄膜体声波谐振器或传感器的微加工工艺流程制作等优点，为提高薄膜体声波传感器的灵敏度提出了一种解决方案，也可应用于其它声波传感器和声波谐振器。??全部 

主 权 项： 

关 键 词： 

法律状态： 

IPC专利分类号：G01N29/32(2006.01)I