一种靶材用高纯钽板的热处理方法

专利类型：发明专利 

语 言：中文 

申 请 号：CN201610042110.3 

申 请 日：20160122 

发 明 人：刘施峰柳亚辉邓超刘庆姚力军王学泽 

申 请 人：重庆大学 

申请人地址：400044 重庆市沙坪坝区沙坪坝正街174号 

公 开 日：20170811 

公 开 号：CN105441846B 

代 理 人：陈千 

代理机构：重庆为信知识产权代理事务所(普通合伙) 50216 

摘　　要：本发明公开一种靶材用高纯钽板的热处理方法，将钽板靶坯进行塑性变形后，将其于800℃～900℃条件下恒温热处理60min～90min，取出进行第一次淬火；再于1200℃～1300℃条件下恒温热处理60min～90min，取出进行第二次淬火，得到高纯钽板靶材成品。采用本发明的方法，通过对钽板靶坯进行低温退火、第一次淬火、高温退火和第二次淬火，能细化靶材的晶粒，优化组织，因而能获得性能符合要求和质量稳定的高纯钽板溅射靶材。 

主 权 项：一种靶材用高纯钽板的热处理方法，其特征在于：将钽板靶坯进行塑性变形后，将其于800℃～900℃条件下恒温热处理60MIN～90MIN，取出进行第一次淬火；再于1200℃～1300℃条件下恒温热处理60MIN～90MIN，取出进行第二次淬火，得到高纯钽板靶材成品。 

关 键 词： 

法律状态：公开 

IPC专利分类号：C22F1/18; C22F1/02