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一种蓝宝石衬底研磨废液中碳化硼高效循环再利用新方法

专利类型:发明专利 

语 言:中文 

申 请 号:CN201711098306.5 

申 请 日:20171109 

发 明 人:曹华军葛威威陈二恒鄢佳豪鞠文杰赵伟曹航 

申 请 人:重庆大学 

申请人地址:400044 重庆市沙坪坝区沙正街174号 

公 开 日:20180508 

公 开 号:CN108002388A 

代 理 人:王翔 

代理机构:重庆大学专利中心 50201 

摘  要:本发明公开了一种蓝宝石衬底研磨废液中碳化硼高效循环再利用新方法,包括以下步骤:首先将蓝宝石衬底研磨废液与有机物分离剂、酸液按照一定比例进行混合,然后将该混合物进行超声波洗涤,接着进行固液分离并水洗,最后对所得固体混合物进行干燥和筛分,通过上述步骤即可获得满足要求的碳化硼磨料和制备耐火材料的原料。该方法具有工艺简单、操作方便、成本低廉以及绿色高效等优点。 

主 权 项:一种蓝宝石衬底研磨废液中碳化硼高效循环再利用新方法,其特征在于:步骤1:将蓝宝石衬底研磨废液与所述有机物分离剂、酸液进行混合,三者质量比为(1∶2~3∶1~2)。所述废液是采用碳化硼磨料研磨加工蓝宝石衬底产生的废液;所述有机物分离剂选自无水乙醇、氯仿、乙醚中的任一种;所述酸液选自盐酸、硝酸、硫酸中的任一种,其浓度范围为10%~40%;步骤2:将步骤1所得的混合液进行超声波洗涤;超声波频率设置为30~50KHz,洗涤时间为15~30分钟;步骤3:将步骤2所得的混合液进行过滤,获取所需的固体混合物;步骤4:将步骤3中得到的固体混合物进行水洗并烘干;步骤5:将步骤4中得到的干燥固体混合物用筛分仪进行筛分,回收碳化硼与氧化铝。 

关 键 词:蓝宝石;研磨;衬底;废液;循环再利用;碳化硼;耐火材料;超声波洗涤;固体混合物;碳化硼磨料;有机物分离;固液分离;混合物;酸液;制备 

法律状态:公开 

IPC专利分类号:C01B32/991(2017.01)I,C01F7/02(2006.01)I