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一种激活反射式光阴极的装置
专利类型：实用新型
语 言：中文
申 请 号：CN201720256387.6
申 请 日：20170316
申 请 人：重庆大学
申请人地址：400044 重庆市沙坪坝区沙正街174号
公 开 日：20171110
公 开 号：CN206628438U
代 理 人：唐开平
代理机构：重庆大学专利中心 50201
摘 要：本实用新型公开了一种激活反射式光阴极的装置，它包括由样品加载室（2）与激活腔室（5）构成的真空腔室、由磁耦合传样杆（1）与样品架（25）组成的样品传送机构和由样品架固定台（15）与线性位移器（9）组成的工作台；与样品加载室（2）穿通且在激活腔室（5）内能进出的磁耦合传样杆（1）前端插接或卸载样品架（25），激活腔室（5）内的样品架固定台（15）固定在线性位移器（9）的顶端，样品架（25）卡固在样品架固定台（15）上。本实用新型的技术效果是：能制备光阴极材料，设备体积小、重量轻，耗材少、能耗低。
主 权 项：一种激活反射式光阴极的装置，其特征是：包括由样品加载室（2）与激活腔室（5）构成的真空腔室、由磁耦合传样杆（1）与样品架（25）组成的样品传送机构和由样品架固定台（15）与线性位移器（9）组成的工作台；与样品加载室（2）穿通且在激活腔室（5）内能进出的磁耦合传样杆（1）前端插接或卸载样品架（25），激活腔室（5）内的样品架固定台（15）固定在线性位移器（9）的顶端，样品架（25）卡固在样品架固定台（15）上。
关 键 词：
法律状态：授权
IPC专利分类号：H01J1/304; H01J37/073