一种平板式压电六维力传感器
专利类型：发明专利
语 言：中文
申 请 号：CN200810069720.8
申 请 日：20080522
申 请 人：重庆大学
申请人地址：400030重庆市沙坪坝区沙正街174号
公 开 日：20091202
公 开 号：CN100565146C
代 理 人：康海燕
代理机构：重庆华科专利事务所
摘 要：本发明属于压电传感器技术领域，涉及一种平板式压电六维力传感器，它是将十六个压电单元晶组组装在以基座和盖子形成的腔体中，并引出电极，通过导线连接到插座，形成传感器。这十六个压电单元晶组均匀分布在基座内的压电单元晶组安装平台的同一圆周上，四个采用X0°切型石英晶片构成的压电单元晶组分布于圆周的45°、135°、225°和315°的位置上，十二个采用Y0°切型石英晶片构成的压电单元晶组均匀分布在圆周的其余位置，共形成七个压电晶组，获得七路输出信号。本六维力传感器具有结构简单、无需弹性体、动态特性好、易于小型化和微型化、制造成本低、刚度好等优点，不存在维间耦合，无需解耦运算，属直接输出型六维力传感器。
主 权 项：1、一种平板式压电六维力传感器，所述传感器以石英晶片为敏感元件，将石英晶片组装在以基座和盖子形成的腔体中，并引出电极，通过导线连接到插座，形成传感器；其特征在于：所述组装在基座内的石英晶片共形成十六个压电单元晶组，这十六个压电单元晶组固定安装并均匀分布在传感器基座内的压电单元晶组安装平台的同一圆周上；其中有四个压电单元晶组分别由X0°切型石英晶片构成，分布于圆周的45°、135°、225°和315°的位置上，分别构成第4、第5、第6和第7压电晶组，这四个压电单元晶组的敏感轴垂直于传感器工作平面；另十二个压电单元晶组分别由Y0°切型石英晶片构成，其中，分布于圆周的0°、180°位置上的两个压电单元晶组构成第1压电晶组，构成第1压电晶组的两个压电单元晶组的敏感轴沿圆周的同一径向分布，且方向相同；分布于90°、270°位置上的两个压电单元晶组构成第3压电晶组，构成第3压电晶组的两个压电单元晶组的敏感轴沿圆周的同一径向分布，且方向相同；分布于22.5°、67.5°、112.5°、157.5°、202.5°、247.5°、292.5°、337.5°位置上的八个压电单元晶组构成第2压电晶组，构成第2压电晶组的八个压电单元晶组的敏感轴沿圆周的切线分布，且方向沿顺时针或逆时针布置；所述第1压电晶组的两个电极并联后用导线与基座上的第1插座连接，第2压电晶组的八个电极并联后用导线与第2插座连接，第3压电晶组的两个电极并联后用导线与第3插座连接，第4、5、6和7压电晶组各自的电极用导线分别与第4、5、6和7插座连接；所述各导线被分别绝缘封装在绝缘材料填充层中。
关 键 词：
法律状态：公开
IPC专利分类号：G01L1/16(2006.01)I