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一种集成电路厂房内的精密仪器隔振结构
专利类型：实用新型
语 言：中文
申 请 号：CN201420826564.6
申 请 日：20141224
申 请 人：重庆建工住宅建设有限公司重庆大学重庆建工集团股份有限公司
申请人地址：400000 重庆市渝中区桂花园43号
公 开 日：20150701
公 开 号：CN204437163U
代 理 人：
代理机构：
摘 要：本实用新型公开一种集成电路厂房内的精密仪器隔振结构，包括台座、供气系统、高度控制系统、空气弹簧、阻尼器，所述空气弹簧位于所述台座之下，供气系统的输出端与高度控制系统的输入端相连，高度控制系统的输出端与空气弹簧相连，阻尼器设置在空气弹簧之下，由所述的空气弹簧与所述的阻尼器串联支撑所述的台座。它具有结构简单合理、隔振效果好的特点，通过采取空气弹簧与阻尼器的双重隔振，隔振效果更好，承载能力更强。
主 权 项：一种集成电路厂房内的精密仪器隔振结构，包括台座（1）、供气系统（2）、高度控制系统（3）、空气弹簧（4）、阻尼器（5），其特征在于：所述空气弹簧（4）位于所述台座（1）之下，供气系统（2）的输出端与高度控制系统（3）的输入端相连，高度控制系统（3）的输出端与空气弹簧（4）相连，阻尼器（5）设置在空气弹簧（4）之下，由所述的空气弹簧（4）与所述的阻尼器（5）串联支撑所述的台座（1）。
关 键 词：
法律状态：授权
IPC专利分类号：F16F9/32(2006.01)I