基于双层梳齿驱动的MEMS可动闪耀光栅光调制器

专利类型：发明专利 

语 言：中文 

申 请 号：CN201410116359.5 

申 请 日：20140326 

发 明 人：张智海张文凯路远高玲肖 

申 请 人：重庆大学 

申请人地址：400044 重庆市沙坪坝区沙正街174号重庆大学A区光电工程学院 

公 开 日：20160518 

公 开 号：CN103901609B 

代 理 人： 

代理机构： 

摘　　要：本发明涉及MEMS光调制器技术领域，具体涉及一种MEMS闪耀光栅光调制器和阵列:所述MEMS大转角可动闪耀光栅光调制器，采用双层梳齿驱动，并将双层梳齿驱动位置布置在光栅镜面两端的柔性支撑梁上。使用多个可动闪耀光栅光调制器构成阵列时，每一个双层梳齿驱动的MEMS大转角可动闪耀光栅光调制器均可在驱动电路控制下独立动作，而且每个光栅镜面间的间隙很小。本结构使光栅可以向两侧发生大角度偏转，具有偏转角大、衍射效率高、调谐频率高、防粘附的优点。这种光栅光调制器及其阵列，可应用于光谱仪、光通信、精密测量、激光整形、显示等领域。 

主 权 项：一种双层梳齿驱动的MEMS可动闪耀光栅光调制器，其特征在于：包括硅衬底以及设置于硅衬底上的绝缘层，光栅镜面通过扭转梁悬空支撑于绝缘层上方，所述的扭转梁由动齿和柱子组成，动齿的一端通过柱子固定设置于绝缘层上，动齿的另一端与光栅镜面固定连接，所述的动齿为两个，分别与光栅镜面的两端固定连接，动齿与定齿组成梳齿驱动器，其中定齿固定于衬底上，所述的定齿共有两个，光栅镜面的两侧都分别分布有动齿和定齿，并且每个动齿都交叉悬浮在各自对应的定齿上，两侧的动齿和其对应的定齿上都分别装设有电极，动齿和定齿共同组成双层梳齿驱动结构。 

关 键 词： 

法律状态：授权 

IPC专利分类号：G02B26/08(2006.01)I;B81B3/00(2006.01)I