一种基于模板辅助的透射电镜样品制备方法
专利类型：外观设计
语 言：中文
申 请 号：CN201811375833.0
申 请 日：20181119
申 请 人：重庆大学
申请人地址：400044 重庆市沙坪坝区正街174号
公 开 日：20190201
公 开 号：CN109298000A
代 理 人：包晓静
代理机构：重庆市信立达专利代理事务所(普通合伙)
摘 要：本发明属于透射电镜技术领域,公开了一种基于模板辅助的透射电镜样品制备方法,根据待减薄透射电镜样品的电化学腐蚀特性、初始规格和拟获得薄区的位置和范围,选取耐腐蚀特性优于待减薄样品的金属模板基材,采用机械和激光切割方法加工成中心具有孔洞的直径3mm金属圆片模板,其中模板中心孔洞略小于样品拟减薄区域；将待减薄样品叠放于模板上,调整样品拟减薄区域与模板孔洞同心并做好固定,整体置于电解双喷仪中进行双喷减薄；结束后取出样品,经清洗晾干后获得具有特定薄区的透射电镜薄膜样品。本发明首次提出基于模板辅助的透射电镜样品制备方法,该方法工艺简单,操作便捷,设备要求低,适用材料广泛。
主 权 项：1.一种基于模板辅助的透射电镜样品制备方法,其特征在于,所述的基于模板辅助的透射电镜样品制备方法包括以下步骤：步骤一：根据待减薄透射电镜样品的电化学腐蚀特性、初始规格和拟获得薄区的位置和范围,选取耐腐蚀特性优于待减薄样品的金属模板基材,采用机械切割方法切取直径3mm、厚度300-500μm的圆片,采用激光切割方法在样品中心加工不同规格孔洞,制备成中心具有孔洞的直径3mm金属圆片模板,其中模板中心孔洞略小于样品拟减薄区域；步骤二：将待减薄样品叠放于模板上,调整样品拟减薄区域与模板孔洞同心并做好固定,然后将样品和模板整体置于电解双喷仪中进行双喷减薄；步骤三：双喷减薄结束后将样品立即取出,用无水乙醇清洗3-5次,然后放在滤纸上自然晾干,获得具有特定薄区特征的透射电镜薄膜样品。
关 键 词：
法律状态：
IPC专利分类号：G01N23/2202