一种原位表征系统分子束外延生长源的延伸装置
专利类型：发明专利
语 言：中文
申 请 号：CN201510513489.7
申 请 日：20150820
申 请 人：重庆大学
申请人地址：400044 重庆市沙坪坝区沙正街174号
公 开 日：20171013
公 开 号：CN105112994B
代 理 人：唐开平
代理机构：重庆大学专利中心 50201
摘 要：本发明公开了一种原位表征系统分子束外延生长源的伸长装置，它包括有支撑套(11)、限孔盲板(14)、大齿轮(12)、小齿轮(15)、旋转杆(17)和延伸管(28)，在支撑套的管腔(11a)的口部装有限孔盲板(14)，管腔(11a)内部装有相互啮合的大齿轮(12)和小齿轮(15)，旋转杆(17)靠近管腔(11a)内侧壁，小齿轮(15)固定在旋转杆(17)中段，限孔盲板(14)中心开有分子束通孔(35)，大齿轮(12)在转轴侧边沿轴向开有分子束过孔(34)，延伸管(28)固定插接在支撑套(11)的管筒(11b)内。本发明的技术效果是：解决了原位表征系统分子束外延生长源发散度大的问题，实现了分子在衬底的微小区域生长，避免了真空部件污染，提高了工作效率。
主 权 项：一种原位表征系统分子束外延生长源的延伸装置，其特征是：包括有支撑套?（11）、限孔盲板（14）、大齿轮（12）、小齿轮（15）、旋转杆（17）和延伸管（28），支撑套?（11）具有管腔（11A）和管筒（11B），管腔（11A）顶面开有旋转杆通孔（11C），在支撑套的管腔（11A）的口部装有限孔盲板（14），管腔（11A）内部装有相互啮合的大齿轮（12）和小齿轮（15），旋转杆（17）靠近管腔（11A）内侧壁，旋转杆（17）上端穿过旋转杆通孔（11C）伸出管腔（11A）顶面、下端活动套在限孔盲板（14）的孔中，小齿轮（15）固定在旋转杆（17）中段，大齿轮（12）的转轴设在限孔盲板（14）内表面上且靠小齿轮（15）一侧偏离限孔盲板中心，限孔盲板（14）中心开有分子束通孔（35），大齿轮（12）在转轴侧边沿轴向开有分子束过孔（35），延伸管（28）固定插接在支撑套（11）的管筒（11B）内。
关 键 词：
法律状态：生效
IPC专利分类号：C30B23/02; G01N23/00