专利类型:实用新型
语 言:中文
申 请 号:CN201420214190.2
申 请 日:20140429
申 请 人:重庆大学
申请人地址:400030 重庆市沙坪坝区沙正街174号
公 开 日:20140827
公 开 号:CN203794986U
代 理 人:康海燕
代理机构:重庆华科专利事务所 50123
摘 要:本实用新型涉及一种用于镀膜的液压提拉装置,其包括安装座和置于安装座上的密封罩,密封罩为具有密封盖的透明罩,密封盖的下底面固定有基片夹持装置,在密封罩内设置有与基片夹持装置对应的提拉针筒,所述提拉针筒具有活塞和活塞推杆,所述提拉针筒的针孔部朝下且固定在安装座中,所述提拉针筒的活塞推杆上端固定有溶胶烧杯;在密封罩外的安装座上还固定有注水针筒,所述注水针筒具有活塞和活塞推杆,所述注水针筒的针孔部与提拉针筒的针孔部通过软管连通,所述软管与一输水管的一端连接;在所述软管和输水管上分别设置一个节流阀,在两节流阀之间的输水管上设置一个调速阀。本方案解决了现有装置基片易抖动的问题。
主 权 项:在一种用于镀膜的液压提拉装置,包括安装座(20)和置于安装座(20)上的密封罩(1),所述密封罩(1)为具有密封盖(2)的透明罩,所述密封盖(2)的下底面固定有基片夹持装置(19);其特征在于:在密封罩(1)内设置有与基片夹持装置(19)对应的提拉针筒(10),所述提拉针筒(10)具有活塞和活塞推杆,所述提拉针筒(10)的针孔部朝下且固定在安装座(20)中,所述提拉针筒(10)的活塞推杆上端固定有溶胶烧杯(17);在密封罩(1)外的安装座(20)上还固定有注水针筒(15),所述注水针筒(15)具有活塞和活塞推杆,所述注水针筒(15)的针孔部与提拉针筒(10)的针孔部通过软管连通,所述软管与一输水管(6)的一端连接;在所述软管和输水管(6)上分别设置有一个节流阀,在两节流阀之间的输水管(6)上设置一个调速阀(12)。
关 键 词:
法律状态:授权
IPC专利分类号:C23C20/00