浏览量:0
一种差分双谐振器型声波压力传感器
专利类型：发明专利
语 言：中文
申 请 号：CN201810778687.X
申 请 日：20180716
申 请 人：重庆大学
申请人地址：400030 重庆市沙坪坝区沙正街174号
公 开 日：20181123
公 开 号：CN108871627A
代 理 人：顾晓玲
代理机构：重庆双马智翔专利代理事务所(普通合伙) 50241
摘 要：本发明提出了一种差分式双谐振器型声波压力传感器,其包括衬底1及在其上形成的底电极2,在底电极2下的衬底1内设置有两个独立且结构参数相同的敞开或密封的腔室,第一腔室之上的底电极2上依次形成有压电层3和第一谐振器4,第二腔室之上的底电极2上依次形成有压电层3和第二谐振器5。本发明通过消除了温度波动对谐振器的影响,提高了压力传感器的灵敏度。
主 权 项：1.一种差分式双谐振器型声波压力传感器,其特征在于,包括衬底(1)及在其上形成的底电极(2),在所述底电极(2)下的衬底(1)内设置有两个独立且结构参数相同的敞开或密封的腔室,第一腔室之上的底电极(2)上依次形成有压电层(3)和第一谐振器(4),第二腔室之上的底电极(2)上依次形成有压电层(3)和第二谐振器(5)。
关 键 词：
法律状态：
IPC专利分类号：G01L1/16