差动式压电二维加速度传感器
专利类型：发明专利
语 言：中文
申 请 号：CN200610054418.6
申 请 日：20060706
申 请 人：重庆大学
申请人地址：400044重庆市沙坪坝区沙坪坝正街174号
公 开 日：20080903
公 开 号：CN100416274C
代 理 人：袁庆民
代理机构：重庆博凯知识产权代理有限公司
摘 要：一种差动式压电二维加速度传感器。该传感器包括绝缘的立方体惯性质量块、贴合在该惯性质量块四壁上的带有电极的四片XO°切型的石英晶片、以及安装该惯性质量块和石英晶片在其内的由箱体和箱盖组成的基座。每片石英晶片的外侧均贴合有各一片绝缘的传力块，基座的四壁上均有顶着各一块传力块的预紧螺钉。该基座的箱盖上有一端通过信号引线与电极联接、另一端与差动式电荷放大器联接的联接插头。本发明的传感器重量轻、结构简单、易于加工制造；在外力较小时输出信号依然较强，其灵敏度高，能克服因环境的变化给测量带来的误差。
主 权 项：1. 差动式压电二维加速度传感器，该传感器包括绝缘的惯性质量块、贴合在该惯性质量块上的带有电极(82、81)的压电元件、以及安装该惯性质量块和压电元件的基座，其特征在于，所述惯性质量块(1)是一个正方体，该惯性质量块(1)被安装在一个有立方体外形的晶片定位架(2)的内腔里，该晶片定位架(2)内腔是其深度与该惯性质量块(1)等高、且其余内腔尺寸与该惯性质量块(1)相等的立方体内腔，该晶片定位架(2)的内腔与外形两个立方体的竖轴重叠且其对应面平行；所述压电元件是四片与该晶片定位架(2)的四壁有相同厚度的X0°切型的石英晶片(31、32、33、34)，它们(31、32、33、34)以电极(82、81)朝上的状态嵌在该晶片定位架(2)的四壁内，且每对相对的石英晶片(31和33、32和34)灵敏度的轴向相反；在这四片石英晶片(31、32、33、34)的外侧均贴合有各一片绝缘的传力块(4)；所述基座由一个立方体形状的箱体(51)和箱盖(52)组成，装入了惯性质量块(1)、四片石英晶片(31、32、33、34)的晶片定位架(2)以及四片传力块(4)均安装在该箱体(51)内，该基座箱体的四壁上均有顶着各一块传力块(4)的预紧螺钉(6)；所述箱盖(52)上有一端通过信号引线(61)与所述电极(82、81)联接、另一端与差动式电荷放大器联接的联接插头(7)。
关 键 词：
法律状态：公开
IPC专利分类号：G01P15/09(2006.01);G01P15/18(2006.01)