一种简易单晶炉及其控制方法
专利类型：发明专利
语 言：中文
申 请 号：CN201610463538.5
申 请 日：20160623
申 请 人：重庆大学
申请人地址：400044 重庆市沙坪坝区沙正街174号
公 开 日：20161012
公 开 号：CN106011995A
代 理 人：姜彦
代理机构：北京国坤专利代理事务所(普通合伙) 11491
摘 要：本发明公开了一种简易单晶炉及其控制方法，简易单晶炉包括立式管式炉和运动控制系统，立式管式炉包括加热部件、石英锥管、石英托、真空泵；石英托设置有容纳石英锥管的孔，石英锥管穿插在石英托设置的孔上，真空泵通过与炉管的一端法兰相连，另一端法兰与其他保护气体相连(如氩气、氮气)，使炉管内部环境保持惰性环境(必要时)，也保持石英锥管外部环境为其惰性环境(必要时)。本发明提供的简易单晶炉制作成本低，占地面积少，操作简单；本发明的单晶生长原理是布立基曼法，通过本发明所述简易单晶炉已生产出多种大块单晶，其效果等效甚至优于专业单晶炉的生长效果。
主 权 项：一种简易单晶炉，其特征在于，所述的简易单晶炉包括立式管式炉和运动控制系统，所述立式管式炉包括立柱板、炉膛、炉管、石英锥管、石英托、吊绳、加热部件、真空泵；所述炉膛固定在立柱板上，所述加热部件安装于炉膛内，炉管通过固定装置定位在炉膛中央且与炉膛相互分离，石英托均通过吊绳吊在炉管内，石英托设置有容纳石英锥管的孔，石英锥管插在石英托的孔上；所述真空泵一端与炉管相连并且另一端与外部保护气体装置相连；所述外部保护气体装置盛有氩气或氮气保护气体；所述运动控制系统包括电机、电机电源、导轨、运动控制器、驱动器；所述驱动器、电机电源、电机均与运动控制器连接。
关 键 词：
法律状态：公开
IPC专利分类号：C30B11/00(2006.01)I