检索结果分析
- 静电简支梁式干涉光调制器
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申请号：CN200510057391.1
申请日：20051118
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明涉及一种静电简支梁式干涉光调制器，主要由衬底、控制电路、下电极层、简支梁、可动反射镜以及固定玻璃平板构成。在衬底上形成有下电极层和控制电路，下电极层与控制电路各单元电极控制端接触；在下电极层上淀积绝缘层，绝缘层之上...
- 静电简支梁式干涉光调制器
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申请号：CN200510057391.1
申请日：20051118
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明涉及一种静电简支梁式干涉光调制器，主要由衬底、控制电路、下电极层、简支梁、可动反射镜以及固定玻璃平板构成。在衬底上形成有下电极层和控制电路，下电极层与控制电路各单元电极控制端接触；在下电极层上淀积绝缘层，绝缘层之上...
- 静电简支梁式干涉光调制器
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申请号：CN200510057391.1
申请日：20051118
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明涉及一种静电简支梁式干涉光调制器，主要由衬底、控制电路、下电极层、简支梁、可动反射镜以及固定玻璃平板构成。在衬底上形成有下电极层和控制电路，下电极层与控制电路各单元电极控制端接触；在下电极层上淀积绝缘层，绝缘层之上...