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大转角压电扫描微镜
申请号：CN201010136889.8
申请日：20100331
申请人：重庆大学
浏览量：0
摘要：
本发明公开了一种单片集成的大转角压电扫描微镜，包括微反射镜面、压电微驱动器、角度传感器以及支撑框架，所述反射镜面、压电微驱动器以及支撑框架均制作在同一片硅基底上，反射镜面、压电微驱动器位于支撑框架结构的内部；本发明采用压...
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