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压电式集成MOEMS扫描光栅微镜
申请号：CN201710687362.6
申请日：20170811
申请人：重庆大学
浏览量：0
摘要：
本发明公开一种压电式集成MOEMS扫描光栅微镜，涉及光谱分析和微光机电系统领域，由集成扫描光栅微镜、扭转梁、连接梁、角传感器、压电微驱动器和固定框架组成。所提出的集成扫描光栅微镜是基于偏晶向(111)硅基，在正面集成了闪...
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