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  • 发明人=郁卫飞x
排序:
n型单晶硅片的表面处理方法

申请号:CN200610054246.2

申请日:20060425

申请人:重庆大学

浏览量:0
摘要:一种n型单晶硅片的表面处理方法,用于全硅光电子器件、传感器、生物医学和功能材料等领域。本发明包括n型单晶硅片的前处理、电化学阳极氧化法制备n型多孔单晶硅片,需同时用碘钨灯照射其抛光面、然后对n型多孔单晶硅片进行后处理,得...
n型单晶硅片的表面处理方法

申请号:CN200610054246.2

申请日:20060425

申请人:重庆大学

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摘要:一种n型单晶硅片的表面处理方法,用于全硅光电子器件、传感器、生物医学和功能材料等领域。本发明包括n型单晶硅片的前处理、电化学阳极氧化法制备n型多孔单晶硅片,需同时用碘钨灯照射其抛光面、然后对n型多孔单晶硅片进行后处理,得...
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