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  • 发明人=邓丽诚x
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基于PZT压电梁阵列的MEMS振动能量收集器

申请号:CN201310281135.5

申请日:20130705

申请人:重庆大学

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摘要:本发明提出一种基于PZT压电梁阵列的MEMS振动能量收集器,该器件由多个PZT压电梁、一个质量块和外框组成。每个PZT压电梁包括硅基底、下电极、PZT压电膜和上电极。这些压电梁的一端固定在外框上,另一端共用一个质量块,压...
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