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基于声光效应的MEMS微型加速度传感器
申请号：CN201110350814.4
申请日：20111109
申请人：重庆大学
浏览量：0
摘要：
基于声光效应的MEMS微型加速度传感器包括激光器、光波导系统、基于板波的声光移频器、光电探测器，其中光波导系统包括单模矩形光波导、锥形光波导、波导偏振器和波导反射镜。将光波导系统、基于板波的声光移频器通过MEMS微加工技...
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