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  • 发明人=袁成伟x
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一种微机械横向振动加速度开关

申请号:CN201310614546.1

申请日:20131128

申请人:重庆大学

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摘要:本发明提供一种微机械水平横向振动加速度开关,涉及微机电系统领域,由绝缘衬底、锚点、凸台型结构、触头、折叠梁和检测质量块组成。所述锚点位于检测质量块的水平纵向方向两侧,固定于绝缘衬底上,通过折叠梁与检测质量块连接,使折叠梁...
一种微机械横向振动加速度开关

申请号:CN201310614546.1

申请日:20131128

申请人:重庆大学

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摘要:本发明提供一种微机械水平横向振动加速度开关,涉及微机电系统领域,由绝缘衬底、锚点、凸台型结构、触头、折叠梁和检测质量块组成。所述锚点位于检测质量块的水平纵向方向两侧,固定于绝缘衬底上,通过折叠梁与检测质量块连接,使折叠梁...
基于PZT压电梁阵列的MEMS振动能量收集器

申请号:CN201310281135.5

申请日:20130705

申请人:重庆大学

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摘要:本发明提出一种基于PZT压电梁阵列的MEMS振动能量收集器,该器件由多个PZT压电梁、一个质量块和外框组成。每个PZT压电梁包括硅基底、下电极、PZT压电膜和上电极。这些压电梁的一端固定在外框上,另一端共用一个质量块,压...
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