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微纳传动平台
申请号：CN201010101175.3
申请日：20100126
申请人：重庆大学
浏览量：0
摘要：
本发明公开了一种微纳传动平台，包括底座、下平台组件和上平台组件，本发明利用压电效应使下平台组件实现沿坐标系X和Y方向的直线移动，上平台组件实现沿坐标系Z方向的直线移动和绕X、Y轴平行轴的旋转摆动，并通过位移放大机构增加行...
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