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一种MEMS扫描微镜光谱仪工作电路
申请号：CN201210079028.X
申请日：20120323
申请人：重庆大学
浏览量：0
摘要：
本发明公布一种MEMS（微电子机械系统）扫描微镜光谱仪工作电路。它主要由振荡信号模块，MEMS微镜驱动控制模块，光谱数据采集模块三个模块组成，其中，光谱数据采集模块由前置放大电路、AD转换电路、FIFO存储器、FPGA（...
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