检索结果分析
- 光学位相检测的高精度硅微机电陀螺仪
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申请号：CN200910103328.5
申请日：20090306
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明涉及一种光学位相检测的高精度硅微机电陀螺仪，光源的尾纤与光电探测器的入纤分别和Y型光耦合器的一根光纤熔接，在振梁上做微镜用于反射经Y型光耦合器尾纤的透射光，光电探测器探测微镜上的反射光与Y型光耦合器尾纤端面的反射光...
- 光学位相检测的高精度硅微机电陀螺仪
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申请号：CN200910103328.5
申请日：20090306
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明涉及一种光学位相检测的高精度硅微机电陀螺仪，光源的尾纤与光电探测器的入纤分别和Y型光耦合器的一根光纤熔接，在振梁上做微镜用于反射经Y型光耦合器尾纤的透射光，光电探测器探测微镜上的反射光与Y型光耦合器尾纤端面的反射光...