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高精度扫描隧道显微镜的镜体
申请号：CN02221502.6
申请日：20020131
申请人：重庆大学
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摘要：
高精度扫描隧道显微镜的镜体涉及物体不规则表面及轮廓的纳米测量装置,它主要解决定点测量与加工、延伸测量与加工范围的问题,解决的方案是让工作台在水平方向作二维运动,工作台的位移由两个电动进给机构控制,其水平纵向位移的精度为每...
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