检索结果分析
- 一种MEMS应变式差分式压力传感器及制作方法
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申请号：CN201910839863.0
申请日：20190906
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明保护一种MEMS应变式差分式压力传感器及制作方法,包括金属应变电阻、绝缘层、应变硅片、硅岛结构和支撑框架结构,在硅片背面中间位置形成硅岛结构,在四周形成支撑框架结构,硅岛结构和支撑框架结构之间形成应变硅膜。所述硅岛...
- 一种集成凸透镜的阵列式SERS基底及其制备方法
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申请号：CN201910603310.5
申请日：20190705
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明公开了一种集成凸透镜的阵列式SERS基底,包括衬底,所述衬底上设有多个呈阵列式分布的通孔,该通孔中设有双面凸透镜,在凸透镜的一侧附着有金属纳米颗粒。其能够提高拉曼散射的收集效率和拉曼散射强度,实现高通量多参数检测,...