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一种MEMS应变式差分式压力传感器及制作方法
申请号：CN201910839863.0
申请日：20190906
申请人：重庆大学
浏览量：0
摘要：
本发明保护一种MEMS应变式差分式压力传感器及制作方法,包括金属应变电阻、绝缘层、应变硅片、硅岛结构和支撑框架结构,在硅片背面中间位置形成硅岛结构,在四周形成支撑框架结构,硅岛结构和支撑框架结构之间形成应变硅膜。所述硅岛...
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