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一种压电非均匀折叠梁驱动的MOEMS扫描光栅微镜
申请号：CN201810616840.9
申请日：20180615
申请人：重庆大学
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摘要：
一种压电非均匀折叠梁驱动的MOEMS扫描光栅微镜,由光栅、微镜、扭转梁、压电非均匀折叠梁微驱动器、角传感器和固定框架组成。微镜通过扭转梁悬置于固定框架上使其绕扭转梁转动而限制其他方向的平动,并结合在微镜背部掏蚀凹槽,提高...
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