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- 一种真空设备用可伸缩气体源装置
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申请号：CN201721259910.7
申请日：20170928
申请人：中国科学院重庆绿色智能技术研究
浏览量：0 - 摘要：本实用新型提出一种真空设备用可伸缩气体源装置，包括固定座，与真空设备的高真空腔室通过真空密封法兰固接；毛细气管，与固定座通过伸缩机构相连；伸缩机构，由至少两节伸缩管、弹簧、拉伸丝、绕线辊、旋转装置组成；微型电动阀，固定在...
- 一种真空设备用可伸缩气体源装置
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申请号：CN201710900502.3
申请日：20170928
申请人：中国科学院重庆绿色智能技术研究
浏览量：0 - 摘要：本发明提出一种真空设备用可伸缩气体源装置，包括固定座，与真空设备的高真空腔室通过真空密封法兰固接；毛细气管，与固定座通过伸缩机构相连；伸缩机构，由至少两节伸缩管、弹簧、拉伸丝、绕线辊、旋转装置组成；微型电动阀，固定在圆环...